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晚殿在晚斋后进行。首先，由大殿敲响报钟。每敲十下间隔三至五分钟。当敲过三十后，僧值开始巡签、进殿礼佛。报钟四响、五响后，僧众陆续到齐，晚殿课诵就开始了。晚殿共有三堂功课：
第一堂功课的基本程序是礼佛、念《阿弥陀经》、绕佛、归位，这是为了表达祈求往生西方极乐世界的愿望
第二堂功课的基本程序是礼拜八十八佛、念《礼佛大仟悔文》。八十八佛是五十三佛加三十五佛。五十三佛名见《观药王药上二菩萨经》，是婆婆世界的过去佛；三十五佛名出《决定毗尼经》，是现在十方世界的佛。这八十八佛都可以为众生作仟悔主，因此，人们可以向他们申述自己改悔过恶的愿望。《礼佛大忏悔文》也出于《决定毗尼经》。忏悔，为常用的佛教名词，仟是梵文忏摩之略，悔是仟摩的意译，即对人发露自己的过错，求得容忍宽恕之意。忏悔也可解释为消除以往的宿业，不造未来的新想。法古时规定，念《大忏悔文》须行一百零八礼，现代则多跪诵而不礼拜了。
第三堂功课的基本程序是念《蒙山施食文仪》，并在每日中午的斋食取出少许饭粒施给饿鬼，在讽诵和忏悔之后惠及幽冥。施食多由大殿的殿主执行，方法与午斋施食相同，寒林饿鬼受食之位在大殿门外右边。念《蒙出施食文仪》时间较长，要占整个晚殿的一半时间，故称为“半堂食”。
晚殿的三堂功课，蒙山施食是必须举行的，其它内容可稍作调整。有的寺院实行的是“单日弥陀双日佛”，即每逢阴历的单日念《阿弥陀经》和念佛的名号，双日拜八十八佛和念《礼佛大仟悔文》。还有的寺院晚殿除蒙山施食外，只念《心经》、《回向文》、转佛、归位，再念《普贤十大愿文》；《大皈依》、《大悲咒》、《伽蓝赞》等。
